檢索結果:共10筆資料 檢索策略: "Jyh-Chiang Jiang".ecommittee (精準) and cadvisor.raw="洪儒生"
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本論文使用兩個連續程序,在配備即場式X射線光電子能譜儀(XPS)和反射式高能電子衍射儀(RHEED)的超高真空化學氣相沉積(UHV-CVD)系統中,進行矽晶片(Si(111))的表面碳化和 SiC …
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本研究目的在於利用化學氣相沉積的程序變化模式,尋找在低溫下成長低電阻率且具有光學散射特性之粗糙表面氧化鋅鎵薄膜,最終目標在用來取代氧化銦錫當作為藍光發光二極體的透明導電接觸層。 考慮鎵源先驅…
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本研究是利用具有大表面積及特殊晶面的氮化銦奈米結構為基材以原子層沉積法沉積鉑(Pt)金屬觸媒,探討觸媒沉積後的組成及表面形貌,期待可作為直接甲醇燃料電池陽極觸媒方面的應用。首先,以二氧化矽為基板,探…
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本研究選用在低溫即具有分解能力的聯胺系列化合物-二甲基聯胺(DMHy)來取代反應性低的氨氣(NH3)作為氮源先驅物,同時以分解溫度較低之鎵源-三乙基鎵(TEGa),來成長氮化鎵奈米線,期望以TEGa…
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隨著工業化的迅速發展和擴張,導致了大量的二氧化碳排放,如何有效捕捉二氧化碳將成為當今的首要之務。因此,本研究採用密度泛函理論 (DFT) 並結合動力學模擬(microkinetic simulati…
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本論文中針對三氯矽甲烷(MTS)為原料在氫氣氣氛下化學氣相沉積β相碳化矽薄膜的反應機制進行量化模型之探討。首先以一簡化的模型,即僅考慮MTS氣相解離生成一中間產物並貢獻長膜的逐次反應型式,對熱壁式水…
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隨著工業和交通的快速發展,許多化工生產過程中產生的工業氣體對周圍環境造成極大污染,也對人類健康造成巨大危害。因此,氣體傳感器在工業和環境監測領域對檢測這些有害氣體起著至關重要的作用。最近,NiPS3…
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The Ga doped-ZnO (GZO) thin film has been demonstrated to have low resistivity and high transparenc…
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本論文的主題分為四部分: (1)以SiH4、C2H2和H2為反應物的低壓化學氣相沉積系統探討Si(111)上碳化緩衝層表面的石墨化及其對成長3C-SiC(111)磊晶膜的影響之研究; (2)以SiH…